エッチング

金属組織学的エッチングの知見

🔥 したがってこれは凸版技法であり，リリーフ・エッチング，ティポなどともいわれている。エッチングとは、化学的、あるいは電気化学的な方法を用いて金属の表面を腐食させ任意の表面状態を得るという、金属表面加工の技術のことです。銅合金のエッチングには水溶液を使用する。

⚓ サイドエッチと露光用原版画像のエッチングしろエッチング加工では素材を化学的に溶かして除去するため、実際の加工仕上り穴径は、レジスト膜の穴径より大きくなります。

📞 異方性エッチング [ ] 結晶構造の違いによる縦横の反応性の違いを利用して縦横比の大きい構造を形成する技術である。

🐝 銅の一。塩化鉄 III は塩化鉄 II になる。

☎ 、エッチング液によるによってを行うため、が増すと部よりが、が低くなる。中性粒子はあらゆる角度からウェハーを攻撃するため、このプロセスは等方性である。

😍 注:縮尺は正確ではない現代のプロセスではウェットエッチングを避け、代わりにを使用する。完全に等方性のエッチングは、丸い側壁を作る。

✊ ウェットエッチャントの中には、どの面が露出しているかにより結晶材料を非常に異なる速度でエッチングするものもある。 AnisE IntelliSense社• これを行うことができるエッチングのシステムは、2つの材料のエッチング速度の比に依存する（選択性）。

⚡ 主に以下の8つの工程に分けられます。